增附剂 HMDS

用于提高光刻胶和电子束光刻胶与衬底的粘附性能

  • 产品资料
  • 您的需求

产品特点

  • 改善光刻胶以及电子束光刻胶与衬底的粘附性能
  • 特别适用于粘附性能较差的衬底表面,例如贵金属,SiO2,GaAs等
  • HMDS:通过蒸发(需要专用蒸发设备)沉积在衬底表面

相关光刻百科

产品信息

20°C时的密度(g/cm³) 0.774g/cm³
闪点(℃) 14°C
过滤等级(μm) 0.2μm
6个月储存温度(°C) 10-22°C

包装规格

  • 1 x 250毫升(实验样品)
  • 1 x 1,000毫升
  • 1 x 2,500毫升
  • 4 x 2,500毫升
  • 8 x 2,500毫升
  • 1 x 5,000毫升
  • 4 x 5,000毫升
  • 12 x 5,000毫升
  • 20 x 5,000毫升
  • 如果您有其他要求,请随时联系我们!

工艺信息

HMDS的处理需要专用的蒸发设备。对于大规模生产而言,通常使用具有HMDS气相蒸发的热板来处理。如果没有可用的此类设备,则应采用以下步骤处理:

这种增附处理需要在涂覆光刻胶前立即处理。通常,在生产中使用集成HMDS蒸发功能的热板。如果没有,则应将衬底放置在干燥器中,HMDS在室温或最高不超过160°C的温度下蒸发。在这些条件下,HMDS会以单分子层(约5 nm)的形式沉积在衬底表面上。
HMDS沉积后,应立即用进行后续的涂胶工艺,HMDS沉积后无需烘烤处理,或在密闭容器中存放几天在进行后续的涂胶工艺。
HDMS的储存稳定性可能由于从大气中吸收水而受到影响。因此,应避免将其存放在开放的容器中保存。

相关产品

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:44

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:36

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:33

点击数:51