显影液 AR 300-26

用于紫外光刻胶和酚醛树脂基电子束光刻胶的显影

  • 产品资料
  • 您的需求

产品特点

  • 缓冲的无色碱性水溶液,可用于紫外光科技的显影,且暗蚀低
  • AR 300-26高对比度,陡峭边缘,快速显影,特别适合厚胶

相关光刻百科

产品信息

主要成分 硼酸钠和NaOH
闪点(℃) 浸没-、喷淋-或搅拌式显影
当量浓度(n) 1.10n

包装规格

  • 1 x 250毫升(实验样品)
  • 1 x 1,000毫升
  • 1 x 2,500毫升
  • 4 x 2,500毫升
  • 8 x 2,500毫升
  • 1 x 5,000毫升
  • 4 x 5,000毫升
  • 12 x 5,000毫升
  • 20 x 5,000毫升
  • 如果您有其他要求,请随时联系我们!

AR 300-80和AR 300-80new工艺信息

AR 300-80 new采用在1000rpm至6000 rpm的的转速下旋涂工艺获得胶膜,并可通通过控制转速来获得不同的膜厚来确定最佳工艺条件。推荐采用较高的旋涂转速获得较薄的胶膜厚度,如4000rpm,约15 nm的胶厚。太厚的胶膜厚度可能会降低或者抵消掉其增加粘附性的作用。建议AR 300-80在180°C的热板上进行烘烤2分钟,或者在烘箱中烘烤25min。AR 300-80 new为对温度敏感的衬底提供了很大的优势,其在60℃下即可完成烘烤步骤,当然也可以在较高的温度下进行烘烤。早先的AR 300-80产品仅在有库存时才出售。烘烤过程中,增附剂会在衬底上获得非常均匀且非常薄的的胶层(约
15 nm)。在衬底冷却之后,可以按照正常工艺涂光刻胶或者电子束光刻胶。多余的增附剂可用有机溶剂如AR 600-70或AR 600-71冲洗掉。其增附效果并不会随之消失同样保持了最佳的表面性能。

相关产品

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:44

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:36

调整紫外光刻胶和电子束光刻胶厚度

点击数:33

点击数:34