显影液 AR 300-47

用于紫外光刻胶和酚醛树脂基电子束光刻胶的性能

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产品特点

  • 适用于紫外光刻胶以及电子束光刻胶的不含金属离子的碱性显影液
  • 降低衬底表面金属离子污染的风险
  • 显影干净无残留
  • 金属离子含量<0.1 ppm
  • 主要成分TMAH(四甲基氢氧化铵)

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产品信息

当量浓度(n) 0.20n
20°C时的密度(g/cm³) 0.99g/cm³
表面张力(mN/m) 最大32 mN/m
过滤等级(μm) 0.2μm
6个月储存温度(°C) 10-22°C

包装规格

  • 1 x 250毫升(实验样品)
  • 1 x 1,000毫升
  • 1 x 2,500毫升
  • 4 x 2,500毫升
  • 8 x 2,500毫升
  • 1 x 5,000毫升
  • 4 x 5,000毫升
  • 12 x 5,000毫升
  • 20 x 5,000毫升
  • 如果您有其他要求,请随时联系我们!

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