电子束光刻胶 AR-N 7700系列

(AR-N 7700.08,AR-N 7700.18)

用于集成电路生产的高分辨率电子束光刻胶

产品特点

  • 感光波段:电子束,深紫外,化学放大胶(CAR)
  • 7700:具有出色的灵敏度和高对比度,重复性好
  • 在248–265nm你们和290-3300 nm紫外范围内具有高分辨率呈现负胶特性
  • 耐刻蚀性好,温度稳定性高达140°C
  • 酚醛树酯、光酸物质、交联剂
  • 安全溶剂:PGMEA

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产品信息

膜厚/4000 rpm 0.10 µm
最佳分辨率 80nm
对比度 5
闪电 42℃
6个月存储温度(°C) 8-12°C

包装规格

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实用案例

AR-N 7570.18:112 × 164阵列,胶厚为400 nm

工艺参数

  • 衬底

    Si 4”晶圆

  • 前烘
    85 °C, 90 s, 热板
  • 曝光

    ZBA 21, 30 kV

  • 显影

    AR 300-46, 60 s,22°C

旋涂曲线

光刻胶结构

AR-N 7700:500 nm点阵结构, 12uc/cm2曝光剂量

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