就所使用的原材料而言,电子束光刻胶分为四种不同的类别:PMMA- 光刻胶 (AR-P 6xx(x),CSAR 62,酚醛树脂基电子束胶 (AR-N/P 7000),Electra 92导电胶。一般情况下,随着烘烤或工艺温度的升高,光刻胶膜的溶解性降低,从而导致去除问题越来越大。在高于 200 °C 的温度下烘烤后,光刻胶在大多数溶剂中呈惰性。只有除胶剂 AR 300-70、300-72 (NMP) 和AR 300-73(TMAH,碱性水溶液)仍会导致薄膜溶胀,并且在某些情况下能够去除胶层。
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