• Mail
电话:010-8286 7920 | 技术咨询:157 0118 5363 |
Allresist 光刻胶专家
  • 首页
  • Allresist
    • 关于我们
      • 关于Allresist
      • 关于汇德信
      • 发展历史
    • 质量体系
      • 质量体系
      • 获奖证书
      • 参考信息
    • 刊物
      • AR NEWS
      • 新闻和会议
      • 光刻月刊
  • 产品
    • 电子束光刻胶
      • 电子束光刻抗蚀剂/光刻胶
    • 紫外光刻胶
      • 紫外光刻、激光直写及干涉光刻胶
    • 保护胶
      • 电子束导电胶、酸碱保护及耐高温胶等
    • 底胶
      • 双层或多层剥离体系底胶
    • 配套试剂
      • 工艺配套试剂(增附剂、显影液、稀释剂、定影液及去胶液)
  • 光刻胶百科
  • 服务
    • 服务内容
      • 我们为您提供专业的产品和咨询服务,从定制产品、简介的商务流程到快速交货。
    • 下载
      • 这里您可以下载所有重要文件,包括产品介绍和材料安全信息文件,我们强烈建议您在使用前认真阅读!
  • 联系我们
  • Search
  • Menu Menu
您现在的位置: 主页1 / lisongkun
lisongkun

关于 lisongkun

This author has not written his bio yet.
But we are proud to say that lisongkun contributed 11 entries already.

日志 lisongkun

保护胶

保护胶AR-PC 5040

用于硅片晶圆正面湿法深刻蚀时背面保护胶

点击数:19

2022年3月25日 通过: lisongkun
工艺信息

电子束光刻胶的工艺流程

PMMA薄膜只能用有机溶剂型显影液显影。水性碱性显影液对于PMMA无效,它不会腐蚀PMMA ,PMMA甚至在强碱性溶液中可以用作保护涂层(→保护涂层AR-PC 503和AR-PC 504用于KOH蚀刻)。对于PMMA电子束光刻的标准工艺条件,推荐使用MIBK和异丙醇组成的显影液。两种浓度的配方可供选择:MIBK:IPA=1:3(AR 600-56)以及MIBK:IPA=2:3(AR 600-55)。AR 600-55是更强的显影液,这意味着相同曝光条件的PMMA层显影速度更快。较弱的AR 600-56提供稍高的对比度。

点击数:39

2022年3月24日 通过: lisongkun
基本化学

紫外光刻胶成分

光刻胶在微电子学和微系统技术中被广泛应用于制备微米级和亚微米级结构。Allresist涵盖了广泛的光刻胶类型,适用于多种应用。紫外正性光刻胶(紫外正胶)Allresist生产的正性光刻胶由成膜剂(如甲酚酚醛树脂)和光敏物质(如萘醌二叠胺)溶解在(如甲氧基丙基乙酸酯(PGMEA))溶剂中混合而成。
紫外负性光刻胶(紫外负胶)对于负性光刻胶的生产,还需要酚醛双氮化剂,酸化剂和氨基化合物溶解在适当的溶剂中(例如甲氧基丙基乙酸酯)。

点击数:28

2022年3月24日 通过: lisongkun
FAQ

1.电子束光刻胶的成分是什么,它们的工作原理是什么?

电子束光刻胶(电子束光阻或电子束抗蚀剂):用于电子束和深紫外光源应用于集成电路制造、主要用于掩模制造的光刻胶。这些光刻胶通常的膜厚度值为200至500 nm之间并在掩模及晶圆上实现100至500 nm的结构。

电子束光刻胶还用于电子束直写多层胶工艺中。这些通常是薄胶<100nm非常适合用于纳米光刻。通过工艺方案的优化,即使是在膜厚度为50 nm时,也可以获得厚度小于10 nm的结构。 它们的特点是对硅,玻璃和大多数金属具有很好的附着力。通过旋涂在6000至1000 rpm之间进行涂覆,可以获得厚度在20 nm至1.75 µm之间的薄膜。对于特殊的电子束应用,甚至可以达到10μm的膜厚值(AR-P 6510)。

点击数:25

2022年3月23日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 4400-50(CAR)

用于电镀、MEMS技术和 LIGA ≥50 μm 的紫外负胶厚胶

点击数:28

2022年3月21日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 4400-25(CAR)

用于电镀、MEMS技术和 LIGA ≤ 20 μm 的紫外负胶厚胶

点击数:19

2022年3月21日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 4400-10(CAR)

用于电镀、MEMS技术和 LIGA ≤ 20 μm 的紫外负胶厚胶

点击数:17

2022年3月21日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 4400-05(CAR)

用于电镀、MEMS技术和 LIGA ≤ 20 μm 的紫外负胶厚胶

点击数:19

2022年3月18日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 4340(CAR)

用于集成电路生产的高灵敏度紫外负胶

点击数:36

2022年3月18日 通过: lisongkun
紫外光刻胶, 负胶

紫外光刻胶AR-N 2220

适用于各种应用的即用型负性喷涂光刻胶

点击数:20

2022年3月18日 /0 评论/通过: lisongkun
Page 1 of 212

页面

  • AR NEWS
  • 下载
  • 保护胶
  • 光刻月刊
  • 光刻胶百科
  • 关于Allresist
  • 关于汇德信
  • 参考信息
  • 发展历史
  • 底胶
  • 技术咨询服务
  • 新闻和会议
  • 未能找到网页
  • 电子束光刻胶
  • 紫外光刻胶
  • 联系我们
  • 获奖证书
  • 质量体系
  • 配套试剂
  • 隐私政策
  • 首页

Categories

  • FAQ
  • FAQ
  • 保护胶
  • 保护胶
  • 其他
  • 去胶液
  • 去胶液
  • 图形反转胶
  • 基本化学
  • 增附剂
  • 增附剂
  • 定影液
  • 定影液
  • 工艺信息
  • 工艺步骤
  • 底胶
  • 底胶
  • 新闻
  • 显影液
  • 显影液
  • 正胶
  • 电子束光刻胶
  • 稀释剂
  • 稀释剂
  • 紫外光刻胶
  • 负胶
  • 负胶
  • 负胶
  • 配套试剂

存档

  • 2022年5月
  • 2022年4月
  • 2022年3月
  • 2021年11月
  • 2021年4月
  • 2021年1月
  • 2020年5月
  • 2019年9月
  • 2019年4月
  • 2018年9月
  • 2018年6月

质量承诺

自1992年以来,我们以适中的价格为客户提供高质量的产品。得益于高效的研究部门和我们对客户需求的密切沟通,我们可以快速响应市场需求并持续提供创新性的产品。

AR NEWS订阅

1 + 1 = ?

联系

中国区独家代理-

北京汇德信科技有限公司

海淀区西三旗建材城中路12号1幢118
中国 北京(100096)

电话:+86 10 8286 7920
传真:+86 10 8286 7919

电子邮件:info@allresist.cn

©1999-2022-Allresist CN-一般条款和条件-数据隐私

友情链接:Allresist.com、Allresist.de、GermanTech、Prlib.cn

点击数:0

Scroll to top

This is a notification that can be used for cookie consent or other important news. It also got a modal window now! Click "learn more" to see it!

OKLearn More更多信息

Cookie and Privacy Settings



How we use cookies

We may request cookies to be set on your device. We use cookies to let us know when you visit our websites, how you interact with us, to enrich your user experience, and to customize your relationship with our website.

Click on the different category headings to find out more. You can also change some of your preferences. Note that blocking some types of cookies may impact your experience on our websites and the services we are able to offer.

Essential Website Cookies

These cookies are strictly necessary to provide you with services available through our website and to use some of its features.

Because these cookies are strictly necessary to deliver the website, refuseing them will have impact how our site functions. You always can block or delete cookies by changing your browser settings and force blocking all cookies on this website. But this will always prompt you to accept/refuse cookies when revisiting our site.

We fully respect if you want to refuse cookies but to avoid asking you again and again kindly allow us to store a cookie for that. You are free to opt out any time or opt in for other cookies to get a better experience. If you refuse cookies we will remove all set cookies in our domain.

We provide you with a list of stored cookies on your computer in our domain so you can check what we stored. Due to security reasons we are not able to show or modify cookies from other domains. You can check these in your browser security settings.

Other external services

We also use different external services like Google Webfonts, Google Maps, and external Video providers. Since these providers may collect personal data like your IP address we allow you to block them here. Please be aware that this might heavily reduce the functionality and appearance of our site. Changes will take effect once you reload the page.

Google Webfont Settings:

Google Map Settings:

Google reCaptcha Settings:

Vimeo and Youtube video embeds:

Privacy Policy

You can read about our cookies and privacy settings in detail on our Privacy Policy Page.

隐私政策
Accept settingsHide notification only