化学放大、高灵敏度负电子束光刻胶 SX AR-N 7730/37

SX AR-N 7730/37是一款全新的化学放大(CAR)电子束光刻胶产品。这种光刻胶具有非常高的灵敏度,同时具有很高的工艺稳定性。因此可以显著提高溶液和胶层的稳定性。

前段时间,我们报道了高灵敏度电子束光刻胶SX AR-N 7700/37的开发。过去的一个问题是分辨率太低,只有300 nm。现在分辨率已得到显著提高,同时保留所有其他优点。

工艺参数图:

膜厚:                        120nm
前烘:                        85°C
灵敏度 (20 kV) :   3.38 µC/cm²
交联烘烤:              105°C,2分钟热板
显影液:                  AR 300-47(2.5 : 1稀释)

图1:使用电子束光刻胶SX AR-N 7700/37曝出的最小分辨率为50 nm的线条结构

对于灵敏度为3 µC/cm²的化学放大光刻胶而言,50 nm的分辨率是一个非常好的结果。然而,如图所示,边缘的精度仍有很多不足之处。因此,现在的目的是通过进一步修改光刻胶配方和优化制造工艺来提高结构质量,以使光刻胶适用于工业应用,例如掩膜版制造领域。

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