电子束光刻胶 AR-N 7720系列

(AR-N 7720.13,AR-N 7720.30)

用于生产衍射光学元件的高分辨率电子束光刻胶

产品特点

  • 感光波段:电子束,深紫外线,化学放大胶(CAR)
  • 用于衍射光学和全息图案的3D灰度光刻,轮廓渐变平坦
  • 在248–265 nm和290-330 nm紫外范围内呈高分负胶特性
  • 耐刻蚀性好,温度稳定性高达140°C
  • 酚醛树酯、光酸物质、交联剂
  • 安全溶剂:PGMEA

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产品信息

膜厚/4000 rpm 0.25 µm
最佳分辨率 80nm
对比度 < 1
闪电 42℃
6个月存储温度(°C) 8-12°C

包装规格

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实用案例

AR-N 7720.13 正弦结构

工艺参数

  • 衬底

    Si 4”晶圆

  • 前烘

    85 °C, 90 s, 热板

  • 曝光

    Vistec Lion, 12.5 kV

  • 显影

    AR 300-47,4:1,60 s,22°C

旋涂曲线

光刻胶结构

AR-N 7720.30:将衍射光学结构转移至硅树脂中

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