电子束光刻胶SX AR-N 8250系列

(SX AR-N 8250.03,SX AR-N 8250.06, SX  AR-N  8250.18)

替代HSQ,实验样品/定制产品

产品特点

  • 感光波段:电子束,极紫外13.5 nm及深紫外(250 nm)
  • 高分辨电子束负胶
  • 与HSQ相当,但灵敏度高20倍,更容易去胶
  • 质保期长
  • 倍半硅氧烷和产酸剂溶于 1-甲氧基-2-丙醇

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产品信息

膜厚/4000 rpm 50 nm
最佳分辨率 15nm
对比度 8
闪电 38℃
6个月存储温度(°C) 8-12°C

包装规格

  • 定制产品,请联系我们确定包装规格
  • 如果您有其他要求,请随时联系我们!

实用案例

AR-N 8200.03/1:100kV加速电压直写200 nm线条结构

工艺参数

  • 衬底

    Si 4”晶圆

  • 前烘

    150 °C, 10min, 热板

  • 曝光

    Raith Pioneer, 30 kV

  • 显影

    AR 300-44,90 s,23°C

旋涂曲线

光刻胶结构

Medusa 82:UV曝光结构,更高灵敏度

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