电子束光刻胶 AR-P 6510系列

(AR-P 6510.15, AR-P 6510.17)

用于生产微型元件的电子束正胶,厚胶产品

产品特点

  • 感光波段:电子束,同步辐射光源、X射线(不需要黄光)
  • 出色的图形质量
  • 溶剂型显影液
  • 10 um至250 um范围的胶厚
  • 工艺过程稳定
  • 高相对分子质量聚丙烯酸甲酯
  • 安全溶剂:PGMEA

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产品信息

膜厚/200 rpm 45 µm
最佳分辨率 1 nm(X-Ray)
对比度 10(X-Ray)
闪电 42℃
6个月存储温度(°C) 10-22°C

包装规格

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  • 如果您有其他要求,请随时联系我们!

光刻胶结构

AR-P 6510.17 :胶厚 40 μm,结构高达 5 μm(同步辐射曝光)

工艺参数

  • 衬底

    Si 4”晶圆

  • 前烘

    100 °C, 4小时, 烘箱

  • 曝光

    同步辐射曝光

  • 显影

    AR 600-51,20 min

  • 定影

    AR 600-61,3min

旋涂曲线

AR-P 6510.17(稀释),电子束曝光(显影剂 AR 600-55),胶厚 5 μm

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