2.电子束光刻胶能够保存多长时间,最佳存储条件是什么?

PMMA,聚合物和苯乙烯丙烯酸酯的光刻胶在可见紫外线范围(>300nm)内不感光;因此,它们不会对白光产生反应(不需要黄光),并且对温度的敏感性远低于基于酚醛树脂的光刻胶。因此,这些光刻胶只会缓慢老化。典型的与时间相关的变化是光刻胶的缓慢增稠,但这种变化对质量没有负面影响。在这种情况下,获得的胶膜往往会稍微厚一些,我们可以在旋涂的过程中轻松进行修正。

相反,基于酚醛树脂的电子束光刻胶与紫外光刻胶一样对可见光敏感。它们对白光和温度均有反应且在储存期间会更快地老化。因此,需将光刻胶装在避光的棕色玻璃试剂瓶中,且应将其存放在低温下保存。使用也只能在黄光(λ > 500 nm)下进行。实验样品SX AR-N 7530/1和SX AR-N 7730/1除外,由于其特定的光酸产生剂,这两种光刻胶在可见的紫外线(> 300 nm)中不敏感,因此无需要黄光。

每种电子束光刻胶的产品标签上均标明了失效日期和建议的存储温度。遵循这些建议的存储要求,光刻胶在有效期之前是稳定的,且至少在销售日期后的6个月内是稳定的。频繁打开光刻胶瓶会导致溶剂蒸发,从而导致光刻胶粘度增加,在使用时导致获得的胶厚偏厚。对于标称胶厚为1.4 µm的光刻胶,仅蒸发1%的溶剂就会使膜厚增加3-5%,因此也增加了所需的曝光剂量。

我们的客户的案例我们自己的长期研究表明,PMMA和聚合物电子束光刻胶可以安全使用2年,并且没有质量变化。

保存在冰箱中的光刻胶,取出后切勿立即打开瓶盖,因为在这种情况下,空气中的水分可能会在过冷的光刻胶上冷凝,这会导致水汽引入光刻胶,导致光刻胶污染。光刻胶在使用之前需要恢复致室温后才能打开使用。

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