4.电子束光刻胶对不同晶圆的粘附性强度有多高?

衬底和光刻胶之间的粘附性是紫外光刻胶的一个敏感特征,电子束光刻胶也是如此。

相比于与 AR-N/P  7000 产品线来说,电子束光刻胶PMMA、聚合物和苯乙烯丙烯酸酯光刻胶明显不太容易出现粘附差的问题。而电子束胶AR-N/P  7000 产品线在衬底清洗过程或其他参数的很小的变化可能会让光刻胶和衬底的粘附强度产生致命影响。

硅、氮化硅和贱金属(如铝、铜)通常具有良好的光刻胶粘附特性,而光刻胶对SiO2、玻璃、贵金属(如金或银)和砷化镓等粘附性往往不是很好。在这种情况下,必须采取措施提高衬底和光刻胶的粘附性(见 3:衬底的预处理)。

需注意,如果空气湿度太高 (> 60 %),光刻胶和衬底的粘附性也会显著降低。

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