保存和老化

光刻胶是光敏性的,它们的性质会在光照或高温下发生变化。它会在储存过程中发生老化,因此光刻胶必须装在避光的棕色玻璃瓶中,冷藏储存,其处理过程也只能在黄光(λ > 500 nm)下进行。产品的有效期和建议的储存温度均在各自的产品标签上注明。如果保持在这些温度下,未开封的光刻胶会在质保期内(通常是生产后 2 年,视产品而定)是稳定的,且至少在销售日期后 6 个月不会产生质量问题。

如果未开封的瓶子存放在最佳温度以下(例如,与推荐的 10-18°C 温度相比,5-8°C),部分光刻胶任可以在其失效日期之后继续使用,但是如果我们在使用中发现品质或者工艺发生变化,请勿继续使用。

频繁打开光刻胶瓶子会导致溶剂挥发,光刻胶粘度增加,从而导致光刻胶胶膜变厚。对于标称膜厚为 1.4 µm 的光刻胶来说,仅损失 1% 的溶剂就可导致膜厚 4%增加,因此也需要更高的曝光剂量。

瓶子从冰箱中取出后在任何情况下都不应立即打开,因为空气湿气可能会沉淀在光刻胶上。开瓶前,应将瓶子恢复致室温。

在储存过程中,感光成分与树脂的热化学反应可能导致形成红色偶氮染料,使光刻胶逐渐变暗。部分少量染料使光刻胶显着变暗,但这不会严重影响光刻胶的性能。

储存数年且过期的光刻胶,只能在相当大的限制下使用。这也适用于储存在过高温度下的光刻胶或高度稀释的抗蚀剂,这些光刻胶的老化速度比正常情况快得多。其后果是由于光敏组分的沉淀而形成某种颗粒污染。通过 0.2 µm 过滤器的过滤只能在早期阶段解决这个问题。

从长远来看,光敏成分越来越多地从光刻胶中沉淀出来,这不仅导致显影速度降低,还导致较高的暗腐蚀和粘附性能的下降。如果光刻胶在高温下(例如在夏季)长时间存储,则可能会从光敏组件中分离出氮。瓶子打开时会发出嘶嘶声以及泡沫。在这种情况下,应将瓶子稍微打开盖子放置 1-2 天,直到光刻胶稳定下来。如果不正确的存储没有持续太久,之后仍可以继续使用此光刻胶。

一般工艺过程概述:

点击数:53