PPA胶在多层胶体系中的应用

基于苯甲醚的PPA 溶液旋涂在 PMMA(600k、950k)、PMMAcoMA(AR-P 617)以及底胶 AR-BR 5480(PMGI 的替代品)上。在上述情况下,每层胶叠加起来,几乎没有胶层的混合发生。因此,可以通过这些手段实现轮廓清晰的双层和三层胶体系。

左图:使用PPA 和底胶 SX AR-BR 5480/19 的多层胶体系示意图,底胶和PPA双层胶体系和PPA和底胶的三层胶体系用于进一步应用。中图:双层胶的轮廓图;使用Dektak 150获得的轮廓信息。右图:使用 PPA 作为顶层胶的双层剥离体系工艺示意图 (PPA/AR-BR 5480)。

光刻胶在旋涂和前烘烤后,用热探针 (NanoFrazor) 扫描上层光刻胶 (PPA)。随着针和光刻胶之间的每次接触,PPA 会蒸发消失,因此所需的结构会转移到上层胶层中。在接下来的剥离工艺中,首先需要在碱性水溶液中各向同性地去腐蚀下层底胶,这会产生底切胶形。随后金属沉积工艺,并且在剥离之后,仅保留所需的属结构。然而,由于各向同性显影过程,该工艺在分辨率方面会受到一定的限制。具体性能,特别是底层的溶解速率,可根据客户要求进行调整。相应地,AR-BR 5400 光刻胶系列的可根据客户的需求定制定制获得不同显影速度的底胶产品。

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