8. 电子束光刻胶能实现多高的分辨率?

对于光刻胶可实现的最佳分辨率,纯粹的学术上的分辨率值和工业上可使用的值是两个完全不同的概念。理论上,电子束胶可以实现最佳2 nm的分辨率(高斯束)。

使用CSAR62 电子束光刻胶,可以在80 nm的膜厚下实现 6 nm的线条;薄膜厚度为180 nm时分辨率可高达10 nm。

使用PMMA电子束光刻胶,在最大厚度为 50 nm时,同样获得高分辨率,但由于工艺参数(主要是所需的高曝光剂量),这些结构在商业应用中会受到限制。对于400 nm厚的PMMA薄膜,可以实现高达150 nm的分辨率,这主要用于工业掩模版生产。

基于酚醛树脂的电子束负胶可获得的最高分辨率为 30 nm线条,而在工业制造工艺中,只能实现80 – 100 nm结构。

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