显影液的老化失效

水溶性碱显影液由于会从空气中吸收 CO 2从而导致老化失效。在这方面,缓冲水碱性显影液(AR 300-26、-35)比含有 TMAH 的 AR 300-40 系列显影液更稳定。在这个系列中,TMAH 浓度的显影液最为敏感。0.1N当量浓度 ( AR 300-49 ) 的 TMAH 显影液在开放容器中 3 – 4 小时后会改变显影性能。打开的容器应在取出显影液后立即密封并尽快使用。显影液应在使用前立即稀释后使用。

频繁打开容器可能会导致溶剂型显影液蒸发并改变显影液的成分。这些变化也可能影响响应工艺。因此,显影液应密封储存。

当然,随着处理晶圆数量的增加,在浸没式显影过程中,显影液也会逐渐老化。可以通过显影槽的大小、每个晶圆曝光的光刻胶量和显影时间确定可显影的晶圆数量。当显影时间比开始时延长约 20% 时,是时候更换新的显影液了。

点击数:17