CSAR 62(AR-P 6200)显影液

对于曝光的 CSAR 62 光刻胶膜的显影,通常通过浸没显影方式进行,显影时间约为 30-60 秒,显影液 AR 600-546、600-548 和 600-549 非常适合。

作为最弱的显影液,AR 600-546 可以普遍使用,并且能够实现超过 14 的非常高的对比度。这种显影液不会腐蚀未曝光的区域。即使在 10 分钟的显影时间之后,也没有观察到明显的暗腐蚀。此外,显影液 AR 600-546 非常适合显影厚达 2 µm的CSAR 62层。与 AR 600-546 相比,中等强度显影剂 AR 600-549 的灵敏度提高了一倍。同样,这种显影剂不会发生暗腐蚀,对比度达到约为 4 。

如果使用最强的显影剂显影液AR 600-548,灵敏度可提高六倍,曝光剂量低于 10 μC/cm²,对比度约为 3。显影液 AR 600-548 在 22°C 下可在两分钟内显现出对未曝光区域光刻胶的腐蚀。将显影槽中温度降低至约 3°C 可有效减少暗腐蚀,但同时会导致灵敏度下降。

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