联级显影

为了获得得显影液的最佳性能和浸没显影期间高效性,我们推荐使用级联显影。通常我们的显影过程只在一个显影槽中进行。曝光的光刻胶区域完全溶解(对于正胶),聚合物会在这个过程中保留在显影液中,因此也连续消耗显影液。如果显影的晶圆只在一个显影槽中进行然后使用去离子水冲洗,受污染的显影液中的残留物的固体可能会沉淀并轻微污染晶圆表面。尽管可以通过用水强烈冲洗来改善,但级联以确保显影步骤安全高效的进行。

为此,将两个甚至三个显影液槽排成一排。在第一个容器中,晶圆已完全显影。显影完成后,将晶片短暂浸入第二个容器的新鲜显影液中(5 秒)。然后可以用第三个显影槽完成该过程。随后的冲洗在去离子水中进行冲洗。这种显影方案最大限度的排除了污染的可能。

如果显影液在第一个显影槽中耗尽(参见“显影剂老化”),则用第二个槽代替,如果需要,用第三个显影槽代替第二个显影槽。通过这个过程,显影液得到最佳利用并获得最高的清洁度。

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