3.与寿命相关的变化会如何影响光刻胶的质量?

在储存期间,由于光敏物质与酚醛树脂的热化学反应,产生红色偶氮染料,导致光刻胶颜色加深。即使是少量的染料也会导致颜色加深,但对一般的光刻胶性能没有显著的影响。

储存了好几年的光刻胶会发生老化,只能在相当大的限制下使用。这也适用于储存在高温和高度稀释的光刻胶比正常光刻胶老化的速度更快。可能的影响是由于光敏物质的沉淀而形成的颗粒。在早期阶段,孔隙大小为0.2µm的过滤可能会有所帮助。然而,经过多次过滤后,光敏物质浓度的逐步下降导致显影速率降低,暗腐蚀加剧,以及光刻胶的粘附性降低。

如果光刻胶的保存条件不满足要求,在较高温度下长时间储存(例如在夏天),氮气可能会从光敏物质中分离出来,这表现为在打开瓶子后会发出嘶嘶声和起泡。在这种情况下,应将瓶盖打开一点,让瓶子保持1 – 2天,直到光刻胶再次稳定下来。如果在不合适的存储条件下,光刻胶没有保存太长时间,它仍然可以使用的。

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