PMMA co MA(AR-P 617,50kV)的新显影液

X AR 600-50/2 是一种新的、非常灵敏和高选择性的 AR-P 617显影液。即使在较长的显影时间下,暗腐蚀也非常低。PMMA 或 CSAR 62 的层不会受到攻击,这对于多层流程尤其重要。通过显影时间可以很好地调整灵敏度。

AR-P 617 ,胶厚:~1µm,SB 10 分钟,200 °C,50 kV,显影剂X AR 600-50/2 中在室温的灵敏度曲线,定影:IPA。

在 60 秒的显影时间下,清零剂量约为70 µC/cm 2,显影3分钟后清零剂量约为40 µC/cm 2,6分钟后清零剂量仍为25 µC/cm 2 ,  10分钟后清零剂量仅为20 µC/cm 2!因此,暗侵蚀保持在中等 的< 5%。显影液  X AR 600-50/2 显示出明显的温度依赖性。

AR-P 617,胶厚:~1 µm,SB 10 分钟,200 °C,50 kV,剂量变化,灵敏度对显影温度的依赖性,显影时间:3 分钟,定影:IPA。

灵敏度随着温度的升高而显着增加。清零剂量在 19 °C 时约为 48 µC/cm 2 ,但在 23.5 °C 时仅为 30 µC/cm 2左右。提高显影温度会导致大约 5 % 的较低的暗侵蚀。

点击数:9