经典意义上的定影液主要用于带有 PMMA 的电子束光刻胶。这些物质的作用是在曝光的 PMMA 薄膜显影后中断显影过程,并干净地冲洗掉含有残留 PMMA 的显影液。如果不使用定影液,受污染的显影液中的聚合物残留物可能会在烘烤步骤期间沉积在表面上。这些几乎看不见的面纱状沉积物在烘烤后难以去除(在这种情况下,推荐使用 O 2 -等离子体进行打底胶工艺),但会损害例如随后的金属化步骤。

即使对于其他溶剂可显影的聚合物(例如 SX AR-PC 5000/40 或聚苯乙烯),出于同样的原因,也建议使用定影液。

非经典意义上的塞子是用于光刻胶(基于酚醛树脂)的去离子水。酚醛树脂基显影液被冲洗掉从而终止显影过程。相比可在溶剂中显影的聚合物相比它首先浸泡在(溶剂)显影液中、覆盖有溶剂“涂层”然后最终被去除掉,基于甲酚的酚醛树脂会立即溶解。在碱性条件下,甲酚转化为代表聚电解质的甲酚(阴离子)(酚醛树脂由大约 10 – 20 种甲酚组成,它们都可以转化为甲酚)。这种聚电解质很好地溶于碱性显影液。

定影液概述:

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