正确稀释光刻胶(参见“光刻胶稀释”)

光刻胶主要由溶剂组成。大多数光刻胶和负性电子束光刻胶使用 PGMEA (PMA) 作为主要溶剂。因此,这种溶剂也是最常用的稀释剂,我们以 AR 300-12 为该类型稀释剂型号。PGMEA 通常也用于去边胶(请参阅如何消除边胶)。

我们强烈建议仅使用推荐的稀释剂稀释光刻胶。当然也可以用其他溶剂降低光刻胶固含量。丙酮、异丙醇、二恶烷、乙酸丁酯等的溶解特性会导致所有固体成分完全溶解,但光刻胶的涂胶过程往往会发生巨大变化,只有在特殊情况下才能获得较高表面质量。

对于 PMMA 电子束光刻,使用了不同的溶剂,如氯苯、苯甲醚和乳酸乙酯。这些溶剂中的每一种也可用作稀释剂:氯苯为 AR 600-01,苯甲醚为 AR 600-02,乳酸乙酯为 AR 600-09。PMMA 共聚物的另一种溶剂是甲氧基丙醇,它以 AR 600-07 的形式提供。

对于各种喷涂胶,仅适用于特殊应用下。通常光刻胶溶剂由易挥发溶剂组成。对喷涂胶的溶剂组成进行了极大的优化。溶剂成分的微小变化将会导致截然不同的涂胶特征。因此,此处应仅使用原始稀释剂。除了喷涂胶的稀释剂是混合物外,所有其他(纯)稀释剂都可以在失效日期之后使用。这些稀释剂不含会发生成分的变化。

溶剂和工作场所安全

我们提供的所有光刻胶以及大量工艺化学品都含有有机溶剂。处理这些产品时,应遵守《有害物质条例》的规定。我们产品的安全数据表旨在为用户提供所需的数据和处理建议,以便为健康保护、工作场所安全和环境保护采取有效措施。

对危险物质进行评级和分类的最重要标准是闪点。闪点是在前面描述的常压实验条件下,物质可能会在该物质上方形成可点燃的空气-气体混合物的最低温度。

燃点是物质在没有任何外部火源(即火焰或火花)的情况下必须被加热以在空气存在下自发点燃的最低温度,这仅仅是被加热的结果。着火温度与易燃物质的沸点或闪点无关。着火温度是衡量物质氧化敏感性的指标,对于大多数有机溶剂而言,其温度超过 200°C。

易燃范围是可燃气体、薄雾或蒸气与空气形成易燃混合物的浓度。可燃范围由爆炸极限定义,即混合物可通过加热点燃的下限和上限浓度。

处理有机溶剂时,必须严格遵守相应的工作场所限制,该限制根据德国有害物质条例定义为工人在特定空气中物质在呼吸区域内时间加权平均浓度的限制。该值表示一种物质的浓度,在该浓度范围内,预计不会对工人的一般健康产生急性或慢性有害影响。

稀释剂概述:

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