1.电子束光刻胶的成分是什么,它们的工作原理是什么?

标准光刻胶结构具有 115 – 130 °C 的软化点。在随后的热处理过程中(等离子蚀刻、溅射或其他工艺),很容易超过这些温度。特别是较厚的光刻胶膜结构在这些条件下会熔化并一起流动。

UV固化是防止结构熔化的一种方法。将晶片放置在热板上(光刻胶结构面向热板),加热并同时用波长为 200 – 300 nm 的紫外线照射。这种高能紫外光能够裂解所有光刻胶成分中的化学键,即使是酚醛树脂的化学键,在更高温度下光刻胶成分的新交联过程发生之前。110 °C 的初始温度(低于软化点)以小步幅或使用温度斜坡升高。在此过程中,结构将保持热稳定。

然而,该程序对于大规模生产来说非常昂贵且太耗时。此外,温度不应选择得太高(> 160°C),因为固化的光刻胶层可能不再可去除。用于宽谱 UV 曝光的光刻机通常不适合 UV 固化,因为波长 > 300 nm 的光不具备足够的能量来切割化学键。此外,在掩模对准器中放置热板也带来了技术挑战。

工艺步骤概述:

点击数:18