5.光刻胶在不同晶圆上的粘附性能如何?

光刻胶和衬底材料之间的附着力是一个非常敏感的问题。清洗工艺或工艺参数的极小的变化会对粘附性产生致命影响。二氧化硅、氮化硅和贱金属(如铝、铜)通常表现出良好的光刻胶粘附性能,而在 SiO 2、玻璃、贵金属(如金和银)以及砷化镓上的粘附力会降低。对于后面提到的衬底材料,绝对需要增附剂来提高粘合强度(问题4:基材的最佳预处理)。如果空气湿度过高(> 60 %),粘附性也会大大降低。

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