7.为什么光刻胶膜会产生气泡,如何避免?

匀胶后出现气泡 在大多数情况下是气泡,例如,如果光刻胶瓶被搅动或晃动,或者如果光刻胶在涂布步骤之前被稀释。开瓶后立即进行涂叫,特别是光刻胶保存在冰箱中并未回恢复至温度,也可能导致气泡的形成。类似地,使用移液管或分配器不准确地取光刻胶(由于拉得太快导致的低压)可能会导致气泡,从而导致光刻胶膜的不均匀性。

如果在涂胶前有将光刻胶恢复至室温,如果在使用前几个小时将瓶子稍微打开以促进压力平衡并且在此期间不要移动,则可以避免气泡。厚胶需要几个小时来完成这个过程,薄抗蚀剂需要更少的时间。对于较厚的光刻胶,超声波处理可能有助于排出气泡。此外,工作区域的条件也很重要。如果空气湿度太高,这个也可能是形成气泡的原因。

前烘后气泡的形成 这种通常在出现在厚胶涂胶后立即烘烤的情况下。匀胶后保持一定的时间(取决于各自的薄膜厚度)则可以解决这个问题。

曝光时或者曝光之后产生的气泡  例如正胶在曝光剂量或光强度过高的情况下会产生气泡这是由于在曝光期间从萘醌二叠氮化物形成的氮。在这种情况下,最佳光剂量必须通过多次或间隔重复曝光步骤来获得。如果涂胶后的前烘步骤时间太短或在太低的温度下进行,薄膜将不充分干燥,光刻胶中残留的溶剂在后续的蒸发可能会导致气泡的形成(FAQ:前烘8)。负胶 AR-N 4300 和 4400 不会产生任何气泡,因为这些光刻胶不含任何潜在的气体形成成分。

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